伴隨著快速集成電路芯片的極速發展趨勢，無線通訊系統軟件的廣泛運用，電子產品向著微型化，一體化的角度發展趨勢。而柔性電子皮膚，柔性液位傳感器，柔性電級等柔性電子器件的發生，又充分說明了大家對電子元器件柔性可傾斜的要求，柔性電子器件蘊含著無盡發展潛力與機會。
而聚二甲基二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)是一種有機高分子高聚物原材料，具備原料價格低，有機化學穩定性能優良，耐用度好，相溶性佳[1-4]等優勢，被普遍地應用於電子器件，微機械設備，醫藥學，微生物等眾多行業。世界各國參考文獻中亦報導過以PDMS為板材制成的柔性元器件。GUOH等人們在PDMS基體上設計方案了一種可精確測量矢量素材地應力/應變力的柔性正交和光柵尺構造，CUIJL等以PDMS為底材制做出了一種具備高靈敏的柔性電容傳感器液位傳感器，聚二甲基硅氧烷制造（PDMS fabrication）等設計方案了一款以PDMS為基材的適用智能穿戴設備的柔性天線，BISWASS等設計方案了一種以PDMS為底材的適用眼底黃斑檢驗的多列陣電級，以PDMS為板材制做了一款高柔延展性電子皮膚觸感感應器。之上均需在PDMS基體上制作金屬構造，而一般在PDMS基體上制做金屬圖型，應用具備特殊鏤空雕花圖型的金屬掩膜版當做圖型掩膜，選用電子束蒸發或熔煉的形式堆積金屬層。故金屬圖型的要求立即在於金屬掩模板的精密度，可是遭受傳統式機械加工制造方式的限定，金屬掩膜版的精密度較低，成本費較高，在電子束蒸發或磁控濺射金屬層時，不可以確保金屬掩膜版與PDMS基體的密切粘貼，亦易導致金屬圖形畸變等難題，不能滿足高像素圖型或對精密度有較高標准的結構特征對規格生產加工偏差的苛刻規定。
文中以當今第五代移動通信技術互聯網(5G)的營銷推廣時尚潮流為環境，將柔性可彎折原材料PDMS與5G通訊技術相結合，從研究根據PDMS柔性基體上，較為運用不一樣光刻膠脫離制做微精細結構的方向考慮，設計方案了一款可適用5G通信系統的中小型(35000μm×35000μm)超高頻段(3.3GHz～5.0GHz)的MEMS單極子柔性天線。該天線以PDMS原材料為柔性物質基材，在物質基材一側設計方案了園盤狀的金屬輻射源構造，選用共面光波導入的(CoplanarWaveguide，CPW)開展防爆開關，使天線的格局更為緊密。而CPW防爆開關天線的匹配電阻網絡帶寬對CPW構造的金屬間隙與數據信號導帶的規格生產加工偏差十分比較敏感，其規格的細微轉變都可能造成匹配電阻網絡帶寬的巨大轉變，故以金屬掩模板作堆積掩膜的方法無法達到其高精密規定。為減少因CPW構造的規格生產加工偏差對天線特性的危害，達到其高精密規定，在PDMS柔性基體內以光刻膠為掩膜選用金屬脫離制作工藝出了厚500nm的金屬鎳光波導入的防爆開關的MEMS柔性天線。試驗中以不一樣光刻膠為掩膜脫離出了CPW構造防爆開關的天線，剖析比照了根據不一樣光刻膠脫離出的CPW對天線特性的危害，並對天線在隨意情況，彎折情況下實現了檢測比照。
該天線是在PDMS柔性物質基材的一側，設計方案了半經為r的園盤狀輻射源金屬構造，其圓心點坐落於天線物質基材的核心，間距CPW構造的金屬地為空隙g1。該天線選用了規范特性阻抗為50Ω的CPW構造開展防爆開關，CPW不但具備內寄生參數小，優良的散射特點，輻射源耗損小，便於集成等優勢，又可與天線的園盤狀輻射源金屬構造集成化於基材同一側，使天線的格局更為緊密，更便於與電子產品集成化互聯。CPW構造坐落於基材的對稱中心，其數據信號導帶與園盤狀輻射源金屬構造相接，數據信號導帶總寬為w1，其與CPW兩側的金屬地的空隙均為g2。
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